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ASML 新型NXE:3400C EUV光刻機批量發貨,EUV訂單嚴重堆積,交貨滯后

2019-10-18 13:10:04 來源:WikiChip EETOP
ASML昨日召開了第三季度業績電話會議。該公司報告了凈系統銷售23億歐元。在EUV方面,ASML的系統總銷售額為7.43億歐元,來自于第三季度交付的7款EUV系統。每臺EUV機器的成本為1.175億美元。

NXE:3400C 系統正式發貨
 

會議報告指出,最新的NXE:3400C系統在第三季度正式發貨。3400C是第一個完全面向HVM的系統。雖然相比3400B并沒有帶來實質性的變化。但新的系統通過一個新的模塊化容器提高了維修和正常運行時間,旨在加快交換集熱器和錫罐可以重新填充的方式。

 

 

ASML本季度共交付了七個系統。其中三個系統是NXE:3400C。第四季度,ASML將再發售6臺NXE:3400C系統,而僅發售2臺NXE:3400B系統。到明年,所有發貨的系統將都是是NXE:3400C。分析指出,到今年年底,ASML將累計發貨45個NXE:3400B和9個NXE:3400C系統。

 

 

已出貨的EUV系統總數

EUV訂單堆積,交貨滯后


第三季度系統訂單額為51億歐元,這主要是由EUV推動的,從邏輯和內存領域收到了23個系統的訂單。這是單季訂單量最高的一個季度,是此前最高季度的兩倍多。ASML證實這23個系統中有很大一部分是用于內存制造而不是邏輯。

訂購的EUV系統
 

這讓我們看到了一個令人不安的現象:訂單越來越多,而ASML卻無法按時交貨。事實上,ASML預計第四季度的凈銷售額為39億歐元,其中包括計劃中的8批EUV發貨量帶來的約9.5億歐元。ASML最初為Q4計劃了12套EUV系統。發貨的急劇減少是由于NXE:3400C臨時供應限制。現在計劃在2020年早期增加四個系統。現在計劃在2020年初增加四個系統。在計劃中的30個EUV系統中,今年將只出貨26個。與去年取得的18個相比,這是一個不錯的進步,3家領先的邏輯器件制造商和DRAM制造商都下了大量訂單,但積壓的訂單仍在顯著增加。根據分析,ASML即將積壓50臺機器。早在今年,ASML就表示有信心在明年達到33臺機器的產量,但在最近的財報電話會議上,這一數字已經調低了。

 

當前的EUV系統積壓
 

按照目前的生產速度,第四季度的訂單在2021年年中之前都無法完成。目前還不清楚EUV機器的大量積壓會對芯片代工廠產生什么影響。

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